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商品详情

近三年科技成果信息征集表

项目名称

内衬、气体分流盘

项目单位

沈阳富创精密设备有限公司

项  目

负责人

姓名

 

职称

 

电话

 

项目简介

(500字内)

产品名称:内衬,LINER

产品使用材料:AL6061-T651

产品涂层技术:硬质阳极氧化、三氧化二钇喷涂

产品使用设备: LED刻蚀机

产品说明: 

此零件由沈阳富创精密设备有限公司承制提供给北方微电子刻蚀机上的刻蚀反应腔内衬,由一整块进口铝合金材料加工而成并进行了2种涂层技术,其中包含半导体最高级别的Y2O3喷涂技术,目前已大批量供货北方微电子公司,试产零件的国产化,打破国外垄断。

产品名称:气体分流盘  Gas distribution plate

产品使用材料:AL6061-T651

产品涂层技术:硬质阳极氧化、

产品使用设备:200mm晶圆刻蚀机

产品说明: 此零件由沈阳富创精密设备有限公司承制提供给美国应用材料公司200mm刻蚀机上的刻蚀气体分流盘,零件为薄片形零件,要求平面度小于0.01mm,所有通气孔的精度在0.01mm范围内,并且需要进行草酸阳极化,富创公司是通过此款阳极化认证的亚洲唯一供应商,目前已大批量供货至美国应用材料公司,通过美国应用材料公司已在Intel、台积电、中芯国际等国际大型FAB厂大批量使用,也是美国应用材料公司在亚洲此款零件的唯一供应商。

知识产

权情况

 

成果成熟度

□实验室阶段   □小试阶段  □中试阶段   市场化阶段

成果转化方式

□技术转让     □技术开发    □技术入股      □股权投资

□许可使用     □合作开发    □其它(    )

成果转

化的融资

需求金额

                 万元

注意:请将项目原始代表性图片图片和表格一起发送。为了保证材料清晰,请保证图片的质量较高,要求图片为PSD格式文件和TIF(或JPEG)格式,分辨率不得小于200dpi

 

 

交易流程
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  • 下单付款
  • 卖家办理
    公正
  • 金轩办理
    转让手续
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买卖双方需提供材料 转让成功后买家会获得
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3、在办理文件副本请求书上签字盖章
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
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3、专利证书或者授权通知书原件
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